半導体のプラズマエッチングにおける反応機構
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Author
Bibliographic Information
- Title
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半導体のプラズマエッチングにおける反応機構
- Author
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早坂, 伸夫
- Author(Another name)
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ハヤサカ, ノブオ
- University
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東北大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第3313号
- Degree year
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1984-03-27
Note and Description
博士論文
