Tribological Properties of MoNx Coatings in Contact with Copper

• VALLI J.

収録刊行物

• J. Vac. Sci. Technol. A

  J. Vac. Sci. Technol. A 4 2850-2854, 1986

詳細情報

• CRID: 1573668926429675264
• NII論文ID: 80003205704
• データソース種別:
  • CiNii Articles