Emittances of a microwave ion-source for implantation
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収録刊行物
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- Nucl. Instrum. & Methods
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Nucl. Instrum. & Methods 37 184-188, 1989
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573668926433545472
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- NII論文ID
- 80004460846
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- NII書誌ID
- AA10529980
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- データソース種別
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- CiNii Articles