Sub-nanometer displacement calibration using x-ray interferometry
収録刊行物
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- Meas. Sci. Technol.
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Meas. Sci. Technol. 1 107-119, 1990
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詳細情報
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- CRID
- 1571698601614849920
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- NII論文ID
- 80005064774
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- データソース種別
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- CiNii Articles