Novel radiofrequency induction plasma processing techniques
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収録刊行物
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- J. Vac. Sci Technol.
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J. Vac. Sci Technol. 11 2487-2491, 1993
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824501530318592
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- NII論文ID
- 80007282021
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- NII書誌ID
- AA10635106
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- データソース種別
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- CiNii Articles