New inductively coupled plasma source using a multispiral coil
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収録刊行物
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- Rev. Sci. Instrum
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Rev. Sci. Instrum 66 (11), 5262-5265, 1995
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571417126677189504
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- NII論文ID
- 80008638767
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- NII書誌ID
- AA00817730
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- データソース種別
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- CiNii Articles