Influence of ion-implantation on native oxidation of Si in a clean-room atmosphere

著者

収録刊行物

  • Applied Surface Science

    Applied Surface Science 100/101, 138-142, 1996

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    80009165962
  • 資料種別
    雑誌論文
  • データ提供元
    CJP引用 
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