Metal gettering by boron-silicide precipitates in boron-implanted silicon
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収録刊行物
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- Nucl. Instr. Meth. Phys. Res.
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Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 127 291-296, 1997
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571698600765218432
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- NII論文ID
- 80009746519
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- NII書誌ID
- AA10529980
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- データソース種別
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- CiNii Articles