光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究（第7報）―格子標準による試作装置の検証―

• 田口 敦清

  大阪大学　大学院工学研究科　機械システム工学専攻

• 三好 隆志

  大阪大学　大学院工学研究科　機械システム工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大学　大学院工学研究科　機械システム工学専攻

• 高橋 哲

  大阪大学　大学院工学研究科　機械システム工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Study on Three-dimensional Micro-machined Surface Measurement by means of Inverse Scattering Reconstruction Phase Method(7th Report) - Verification of the Instrumentation using Surface Topography Standard

抄録

加工の微細化，高精度化への要求は切迫しているが，微細形状の安定した生産プロセスの実現には，加工形状に対する有効な計測·評価法の確立が必要である．本研究では，光学的フーリエ変換と位相回復アルゴリズムを応用し，ナノメートルオーダの分解能で三次元微細加工形状をインプロセス計測することのできる，光逆散乱位相法の開発を目的としている．先に我々が構築した高精度位相回復計測装置を用い，三次元微細形状の測定実験を行ったので報告する．測定試料として深さ44nmの矩形ポケットが10um間隔で2次元的に配列している標準試料を用いた．装置によって測定された物体のフーリエスペクトル及び物体の像強度から位相を回復し，得られた測定形状プロファイルは，標準試料の寸法公称値とよい一致を示した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2002A (0), 698-698, 2002

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 微細形状
• 光学計測
• 位相回復
• フーリエ変換

詳細情報

• CRID: 1390001205650503936
• NII論文ID: 80015811061
• NII論文ID: 130007002490
• NII書誌ID: AN1018673X
• DOI: 10.11522/pscjspe.2002a.0.698.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可