イオン化CVD法によるナノ粒子と薄膜の合成

• 足立 元明

  大阪府立大学先端科学研究所

• 津久井 茂樹

  大阪府立大学先端科学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of Nanoparticles and Films by Ionization CVD Method

収録刊行物

• 静電気学会誌

  静電気学会誌 26 (6), 244-245, 2002-12-31

キーワード

• CVD
• イオン化
• ナノ粒子
• 薄膜

詳細情報

• CRID: 1573950401492328960
• NII論文ID: 80015836078
• NII書誌ID: AN00128613
• ISSN: 03862550
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles