半導体製造装置向け高緻密質セラミックス

• 酒巻 誠

• 岸 幸男

• 井口 真仁

書誌事項

タイトル別名

• ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ムケ コウチミツシツ セラミックス
• 特集 がんばっているエンジニアリングセラミックス
• トクシュウ ガンバッテ イル エンジニアリング セラミックス

収録刊行物

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 38 (4), 287-290, 2003-04

  東京 : 日本セラミックス協会

キーワード

• High dense ceramics
• Semiconductor manufacturing devices
• Pore free

詳細情報

• CRID: 1520572358558421248
• NII論文ID: 80015854683
• NII書誌ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL書誌ID: 6531563
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6531563
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles