プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化 (特集 空気清浄における可視化技術の基礎と実用例)  [in Japanese]

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  • 空気清浄

    空気清浄 41(3), 212-221, 2003

    日本空気清浄協会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    80016213560
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00065670
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    特集
  • ISSN
    00235032
  • NDL Article ID
    6735516
  • NDL Source Classification
    ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
  • NDL Call No.
    Z16-98
  • Data Source
    NDL 
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