Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS

著者

    • Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

書誌事項

Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS

SPIE-The International Society for Optical Engineering, c2007-

  • Vol. 6, no. 1 (Jan./Mar. 2007)-

タイトル別名

JM3

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注記

Title from cover

Vol. 6, no. 1 (Jan./Mar. 2007) bears former ISSN: 1537-1646

継続前誌：1件

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    AA12228464
  • ISSN
    19325150
  • LCCN
    2006214529
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash.
  • 出版状況
    刊行中
  • 刊行頻度
    季刊 (年4回刊)
  • 定期性
    定期
  • 逐次刊行物のタイプ
    定期刊行物
  • 雑誌変遷マップID
    41821400
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