Epitaxial silicon technology

著者

• Baliga, B. Jayant

書誌事項

Epitaxial silicon technology

edited by B. Jayant Baliga

Academic Press, 1986

注記

Includes bibliographies and index

収録内容

• Silicon vapor phase epitaxy / H.M. Liaw and J.W. Rose
• Silicon molecular beam epitaxy / Subramanian S. Iyer
• Silicon liquid phase epitaxy / B. Jayant Baliga
• Silicon on sapphire heteroepitaxy / Prahalad K. Vasudev
• Silicon-on-insulator epitaxy / Hon Wai Lam

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA00266340
• ISBN:
  • 0120771209
• LCCN: 86003524
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Orlando
• ページ数/冊数: viii, 328 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC19 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Silicon crystals -- Growth
  • LCSH : Epitaxy