Ion implantation

著者

• Ryssel, Heiner
• Ruge, Ingolf

書誌事項

Ion implantation

Heiner Ryssel and Ingolf Ruge

Wiley, c1986

タイトル別名

Ionenimplantation

注記

Translation of: Ionenimplantation

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA00364146
• ISBN:
  • 047110311X
• LCCN: 84003723
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Chichester [West Sussex] ; New York
• ページ数/冊数: xvii, 459 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC19 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Semiconductors