Silicon, chemical etching
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書誌事項
Silicon, chemical etching
(Crystals : growth, properties, and applications, 8)
Springer-Verlag, 1982
- : U.S.
- : Germany
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注記
Includes bibliographical references and index
収録内容
- Czochralski-growth silicon / W. Zulehner, D. Huber
- Dendritic web growth of silicon / R. G. Seidensticker
- Principles of chemical etching. The art and science of etching crystals / R. B. Heimann
