Plasma processing for VLSI

著者

• Einspruch, Norman G.
• Brown, Dale M.

書誌事項

Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, 8）

Academic Press, 1984

注記

Includes bibliographies and index

• NII書誌ID(NCID): BA00536241
• ISBN:
  • 0122341082
• LCCN: 83022351
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York ; Orlando
• ページ数/冊数: xiv, 527 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
• 親書誌ID:
  • BA00191015