VLSI metallization

著者

• Einspruch, Norman G.
• Cohen, Simon S.
• Gildenblat, Gennady Sh.

書誌事項

VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, v. 15）

Academic Press, 1987

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA01170156
• ISBN:
  • 0122341155
• LCCN: 86028744
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Orlando ; Tokyo
• ページ数/冊数: x, 480 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73 s
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
  • LCSH : Metallic films
• 親書誌ID:
  • BA00191015