Plasma deposited thin films

著者

• Mort, J.
• Jansen, F. (Frank), Ph. D.

書誌事項

Plasma deposited thin films

editors, J. Mort, F. Jansen

CRC Press, c1986

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA01334220
• ISBN:
  • 0849351197
• LCCN: 86023264
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 245 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.T55
  • DC19 : 621.381/7
• 件名:
  • LCSH : Thin film devices
  • LCSH : Vapor-plating
  • LCSH : Plasma engineering