Semiconductor lithography : principles, practices, and materials

著者

• Moreau, Wayne M.

書誌事項

Semiconductor lithography : principles, practices, and materials

Wayne M. Moreau

（Microdevices : physics and fabrication technologies）

Plenum Press, c1988

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA03566023
• ISBN:
  • 0306421852
• LCCN: 87029077
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xx, 931 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC19 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Photoresists
• 親書誌ID:
  • BA01301028