Proceedings of the Sixth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology : June 7th-9th, 1982 第6回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 : 昭和57年6月7日(月), 6月9日(水)

著者

• Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology
• 高木, 俊宜 タカギ, トシノリ
• イオン工学懇談会 イオン コウガク コンダンカイ
• 電気学会電子デバイス技術委員会 デンキ ガッカイ デンシ デバイス ギジュツ イインカイ

書誌事項

Proceedings of the Sixth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology : June 7th-9th, 1982 = 第6回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 : 昭和57年6月7日(月), 6月9日(水)

edited by Toshinori Takagi

Research Group of Ion Engineering in Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University, Professional Group of Electron Devices, Institute of Electrical Engineers of Japan, [1982]

タイトル別名

ISIAT'82

注記

"ISAT'82"

Includes references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA03692968
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [Tokyo]
• ページ数/冊数: 436 p.
• 大きさ: 30 cm
• 分類:
  • NDLC : MC241
  • NDLC : PA181