Proceedings of the Fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation : June 1st-5th 1981 第5回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 ; および国際学術研究集会「イオンを基礎とした薄膜形成技術」に関するシンポジウム : 昭和56年6月1日(月)-6月5日(金)

Author(s)

• Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology
• 高木, 俊宜 タカギ, トシノリ
• イオン工学懇談会 イオン コウガク コンダンカイ
• 電気学会電子デバイス技術委員会 デンキ ガッカイ デンシ デバイス ギジュツ イインカイ
• International Workshop by Professional Group Ion-based Techniques for Film Formation

Bibliographic Information

Proceedings of the Fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation : June 1st-5th 1981 = 第5回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 ; および国際学術研究集会「イオンを基礎とした薄膜形成技術」に関するシンポジウム : 昭和56年6月1日(月)-6月5日(金)

edited by Toshinori Takagi

Research Group of Ion Engineering in Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University, Professional Group of Electron Devices, Institute of Electrical Engineers of Japan, [1982]

Other Title

ISIAT'81

Note

"ISAT'81"

Includes references

Details

• NCID: BA03698501
• Country Code: ja
• Title Language Code: eng
• Text Language Code: eng
• Place of Publication: [Tokyo]
• Pages/Volumes: 489 p.
• Size: 30 cm
• Classification:
  • NDLC : MC241
  • NDLC : PA181