Proceedings of the Fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation : June 1st-5th 1981 第5回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 ; および国際学術研究集会「イオンを基礎とした薄膜形成技術」に関するシンポジウム : 昭和56年6月1日(月)-6月5日(金)

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Proceedings of the Fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation : June 1st-5th 1981 = 第5回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 ; および国際学術研究集会「イオンを基礎とした薄膜形成技術」に関するシンポジウム : 昭和56年6月1日(月)-6月5日(金)

edited by Toshinori Takagi

Research Group of Ion Engineering in Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University, Professional Group of Electron Devices, Institute of Electrical Engineers of Japan, [1982]