Proceedings of the Eighth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology : June 4th-6th, 1984 第8回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 : 昭和59年6月4日(月)-6月6日(水)

Author(s)

• Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology
• 高木, 俊宜 タカギ, トシノリ
• イオン工学懇談会 イオン コウガク コンダンカイ
• 電気学会電子デバイス技術委員会 デンキ ガッカイ デンシ デバイス ギジュツ イインカイ

Bibliographic Information

Proceedings of the Eighth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology : June 4th-6th, 1984 = 第8回シンポジウム, 「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 : 昭和59年6月4日(月)-6月6日(水)

edited by Toshinori Takagi

Research Group of Ion Engineering in Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University, Professional Group of Electron Devices, Institute of Electrical Engineers of Japan, [1984]

Other Title

ISIAT'84

Note

"ISAT'84"

Includes references

Details

• NCID: BA03702926
• Country Code: ja
• Title Language Code: eng
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [Tokyo]
• Pages/Volumes: 570, 28 p.
• Size: 30 cm
• Classification:
  • NDLC : MC241
  • NDLC : PA181