Electron and ion optics

著者

• Szilágyi, Miklós

書誌事項

Electron and ion optics

Miklos Szilagyi

（Microdevices : physics and fabrication technologies）

Plenum Press, c1988

注記

Includes index

Bibliography: p. 515-528

• NII書誌ID(NCID): BA03946294
• ISBN:
  • 0306427176
• LCCN: 87032180
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xvi, 539 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : QC793.5.E62
  • DC19 : 537.5/6
• 件名:
  • LCSH : Electron optics
  • LCSH : Electron beams
  • LCSH : Ion bombardment
  • LCSH : Electromagnetic lenses
• 親書誌ID:
  • BA01301028