High vacuum production in the microelectronics industry

著者

• Duval, Pierre

書誌事項

High vacuum production in the microelectronics industry

Pierre Duval

（Plasma technology, 2）

Elsevier, 1988

注記

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詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA03949791
• ISBN:
  • 044442878X
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam; Tokyo
• ページ数/冊数: xiii, 222 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC19 : 621.5/5
• 件名:
  • PRECIS : Microelectronics industries. Applications of vacuum technology
• 親書誌ID:
  • BA00003975