Semiconductor processing : a symposium

著者

• Gupta, D. C. (Dinesh C.)
• ASTM Committee F-1 on Electronics
• Symposium on Semiconductor Processing

書誌事項

Semiconductor processing : a symposium

sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor

（ASTM special technical publication, 850）

ASTM, c1984

注記

"ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46."

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA04324278
• ISBN:
  • 0803104030
• LCCN: 84018476
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Philadelphia, PA
• ページ数/冊数: 671 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC19 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductor industry -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA00068096