Tables of ion implantation spatial distributions

著者

• Burenkov, A. F. (Aleksandr Fedorovich)
• Amoretty, S. J.

書誌事項

Tables of ion implantation spatial distributions

A.F. Burenkov ... [et al.]

Gordon & Breach Science Publishers, c1986

English ed., rev. and enl. / translated from the Russian by S.J. Amoretty

• : Switzerland

タイトル別名

Tablit︠s︡y parametrov prostranstvennogo raspredelenii︠a︡ ionno-implantirovannykh primeseĭ

注記

Translation of: Tablit︠s︡y parametrov prostranstvennogo raspredelenii︠a︡ ionno-implantirovannykh primeseĭ

"Published under license by OPA Ltd. for Gordon and Breach Science Publishers S.A."

Bibliography: p. 52-55

Includes index

• NII書誌ID(NCID): BA04330441
• ISBN:
  • 2881240712
• LCCN: 85017565
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 原本言語コード: rus
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: viii, 462 p.
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • LCC : QC702.7.I55
  • DC19 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation -- Tables