Ion implantation : science and technology

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Ion implantation : science and technology

edited by J.F. Ziegler

Academic Press, c1988

2nd ed

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注記

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA04333450
  • ISBN
    • 0127806210
  • LCCN
    88006382
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Boston
  • ページ数/冊数
    ix, 498 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 分類
  • 件名
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