Laser chemical processing for microelectronics

著者

• Ibbs, K. G.
• Osgood, R. M.

書誌事項

Laser chemical processing for microelectronics

edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood

（Cambridge studies in modern optics, 7）

Cambridge University Press, 1989

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA05061582
• ISBN:
  • 0521322545
• LCCN: 87035864
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Cambridge [Cambridgeshire] ; New York
• ページ数/冊数: 172 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications
• 親書誌ID:
  • BA00228454