Advanced MOS device physics

著者

• Einspruch, Norman G.
• Gildenblat, Gennady Sh.

書誌事項

Advanced MOS device physics

edited by Norman G. Einspruch, Gennady Sh. Gildenblat

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, v. 18）

Academic Press, c1989

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA05099858
• ISBN:
  • 012234118X
• LCCN: 81002877
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: San Diego, Calif. ; Tokyo
• ページ数/冊数: xi, 370 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874. V56
  • DC19 : 621.395
  • NDC8 : 549.708
  • NDC7 : 549.3
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Lithography
• 親書誌ID:
  • BA00191015