Fine line lithography

著者

• Newman, Roger

書誌事項

Fine line lithography

edited by Roger Newman

（Materials processing, theory and practices, v. 1）

North-Holland Pub. Co., 1980 , sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1980

注記

Includes bibliographies and index

• NII書誌ID(NCID): BA06400388
• ISBN:
  • 0444853510
• LCCN: 80013154
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; New York,New York
• ページ数/冊数: vii, 481 p.
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Large scale integration
  • LCSH : Lithography
• 親書誌ID:
  • BA00157684