Ion beam assisted film growth

著者

• 伊藤, 糾次 イトウ, タダツグ

書誌事項

Ion beam assisted film growth

edited by Tadatsugu Itoh

（Beam modification of materials, 3）

Elsevier, 1989

注記

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA06776816
• ISBN:
  • 0444872809
• LCCN: 88038872
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; Oxford ; Tokyo
• ページ数/冊数: xvii, 439 p
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC176.9.M84
  • DC19 : 530.4/1
  • NDC8 : 428.4
• 件名:
  • LCSH : Thin films, Multilayered
  • LCSH : Ion bombardment
  • LCSH : Sputtering (Physics)
  • LCSH : Semiconductor films
• 親書誌ID:
  • BA00891345