Proceedings of the Seventh Symposium on Plasma Processing

著者

• Symposium on Plasma Processing
• Mathad, G. S.
• Schwartz, G. C.
• Hess, Dennis W.

書誌事項

Proceedings of the Seventh Symposium on Plasma Processing

edited by G.S. Mathad, G.C. Schwartz, D.W. Hess

（Proceedings / [Electrochemical Society], v. 88-22）

Electrochemical Society, c1988

タイトル別名

Plasma processing

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA06909148
• LCCN: 88072320
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Pennington, N.J.
• ページ数/冊数: viii, 400 p.
• 大きさ: 23 cm
• 親書誌ID:
  • BA01323290