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Proceedings of the Seventh Symposium on Plasma Processing

edited by G.S. Mathad, G.C. Schwartz, D.W. Hess

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 88-22)

Electrochemical Society, c1988

タイトル別名

Plasma processing

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA06909148
  • LCCN
    88072320
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, N.J.
  • ページ数/冊数
    viii, 400 p.
  • 大きさ
    23 cm
  • 親書誌ID
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