Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction

著者

• Stuart, R. V.

書誌事項

Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction

R.V. Stuart

Academic Press, 1983

注記

Includes index

• NII書誌ID(NCID): BA06945480
• ISBN:
  • 0126747806
• LCCN: 82013748
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: viii, 151 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TP156.V3
  • DC19 : 621.5/5
• 件名:
  • LCSH : Vacuum technology
  • LCSH : Thin films
  • LCSH : Cathode sputtering (Plating process)