Laser microfabrication : thin film processes and lithography

著者

• Ehrlich, Daniel J.
• Tsao, Jeffrey Y.

書誌事項

Laser microfabrication : thin film processes and lithography

edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao

Academic Press, c1989

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07027712
• ISBN:
  • 0122334302
• LCCN: 88024215
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston ; Tokyo
• ページ数/冊数: xii, 587 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TA1677
  • DC19 : 621.36/6
• 件名:
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction
  • LCSH : Microlithography