Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications

著者

• Schuegraf, Klaus K.

書誌事項

Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications

edited by Klaus K. Schuegraf

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1988

タイトル別名

Hand book of thin-film deposition processes and techniques

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07074756
• ISBN:
  • 0815511531
• LCCN: 87034702
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xvii, 413 p
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.T55
  • DC19 : 621.381/72
• 件名:
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc
• 親書誌ID:
  • BA04523161