Plasma etching : an introduction

著者

• Manos, Dennis M.
• Flamm, Daniel L.

書誌事項

Plasma etching : an introduction

edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm

（Plasma-materials interactions）

Academic Press, c1989

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07363130
• ISBN:
  • 0124693709
• LCCN: 87037419
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston ; Tokyo
• ページ数/冊数: xii, 476 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TA2020
  • DC19 : 621.044
  • NDC8 : 427.6
• 件名:
  • LCSH : Plasma etching
• 親書誌ID:
  • BA0662742X