Ion beams : with applications to ion implantation

著者

• Wilson, Robert G.
• Brewer, George Raymond

書誌事項

Ion beams : with applications to ion implantation

Robert G. Wilson, George R. Brewer

R. E. Krieger Pub. Co., 1979

注記

Reprint of the ed. published by Wiley, New York, 1973

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07380661
• ISBN:
  • 0882758993
• LCCN: 79001345
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Huntington, N.Y.
• ページ数/冊数: xii, 500 p.
• 大きさ: 24 cm
• 付属資料: 2 leaves of plates in pocket
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Semiconductors
  • LCSH : Microelectronics