Ion implantation in semiconductors

著者

書誌事項

Ion implantation in semiconductors

D. Stievenard, J. C. Bourgoin

Trans Tech Publications, c1988

大学図書館所蔵 件 / 全12件

この図書・雑誌をさがす

注記

"Previously published in Diffusion and Defect Data Pt. B: Solid State Phenomena"--T.p. verso

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA07383681
  • ISBN
    • 0878495754
  • 出版国コード
    sz
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Aedermannsdorf, Switzerland
  • ページ数/冊数
    v, 473 p.
  • 大きさ
    25 cm
ページトップへ