Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis

著者

• Cuomo, J. J.
• Rossnagel, Stephen M.
• Kaufman, Harold R.

書誌事項

Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis

edited by Jerome J. Cuomo and Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1989

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07446307
• ISBN:
  • 081551199X
• LCCN: 88038244
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xviii, 438 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC702.7.I55
  • DC19 : 621.381/7
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Ion bombardment -- Industrial applications
• 親書誌ID:
  • BA04523161