Glow-discharge hydrogenated amorphous silicon

著者

• 田中, 一宜 タナカ, カズノブ

書誌事項

Glow-discharge hydrogenated amorphous silicon

edited by K. Tanaka

（Advances in solid state technology）

KTK Scientific , Kluwer Academic, c1989

• : U.S.

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07564030
• ISBN:
  • 0792303091
• LCCN: 89034244
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Tokyo,Dordrecht ; Boston
• ページ数/冊数: 277 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • LCC : QC611.8.A5
  • DC20 : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Amorphous semiconductors
  • LCSH : Silicon
  • LCSH : Doped semiconductors
  • LCSH : Surface chemistry
  • LCSH : Glow discharges
• 親書誌ID:
  • BA03643532