Microelectronics processing : chemical engineering aspects

著者

• Hess, Dennis W.
• Jensen, Klavs F.

書誌事項

Microelectronics processing : chemical engineering aspects

Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor

（Advances in chemistry series, 221）

American Chemical Society, c1989

注記

Includes bibliographical references and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07698569
• ISBN:
  • 0841214751
• LCCN: 89006862
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington, DC
• ページ数/冊数: xiv, 547 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC20 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Materials
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Surface chemistry
• 親書誌ID:
  • BA00440404