Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 9. Nov. 1989
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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 9. Nov. 1989
(VDI-Berichte, 795)
VDI Verlag, 1989
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注記
Papers of the conference
Includes bibliographies