Lithography in microelectronics

著者

• Makhviladze, T. M.

書誌事項

Lithography in microelectronics

edited by T. M. Makhviladze, translated by Al Peabody

（Proceedings of the Institute of General Physics, Academy of the Sciences of the USSR, v. 8）

Nova Science Publishers, c1989

注記

Includes bibliography and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA09852863
• ISBN:
  • 0941743306
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 原本言語コード: rus
• 出版地: Commack
• ページ数/冊数: x, 207 p.
• 大きさ: 25 cm
• 親書誌ID:
  • BA03913808