Plasma-surface interactions and processing of materials

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Plasma-surface interactions and processing of materials

edited by Orland Auciello ... [et al.]

（NATO ASI series, ser. E . Applied sciences ; no. 176）

Kluwer Academic Publishers, c1990

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注記

"Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials, Alicante, Spain, September 4-16, 1988"--T.p. verso

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