Secondary ion mass spectrometry : a practical handbook for depth profiling and bulk impurity analysis

書誌事項

Secondary ion mass spectrometry : a practical handbook for depth profiling and bulk impurity analysis

R.G. Wilson, F.A. Stevie, C.W. Magee

Wiley, c1989

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注記

"A Wiley-Interscience publication"

Includes bibliographical references

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA10465729
  • ISBN
    • 0471519456
  • LCCN
    89022460
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    New York
  • ページ数/冊数
    1 v. (various pagings)
  • 大きさ
    26 cm
  • 分類
  • 件名
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