Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
(Materials Research Society symposium proceedings, v. 168)
Materials Research Society, c1990
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注記
Includes bibliographical references and indexes
内容説明・目次
内容説明
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「Nielsen BookData」 より