Proceedings of the Fifth Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing

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Proceedings of the Fifth Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing

edited by Vaughn Akins

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 90-3)

Electrochemical Society, c1990

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA11132561
  • LCCN
    90080580
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, NJ (10 S. Main St., Pennington 08534-2896)
  • ページ数/冊数
    vii, 288 p.
  • 大きさ
    23 cm
  • 分類
  • 親書誌ID
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